日本三豐525系列CNC超級(jí)表面粗糙度測(cè)量?jī)x 福建三豐代理技術(shù)參數(shù) :

X1 軸

測(cè)量范圍 : 200mm

分辨率 : 0.00625µm

檢測(cè)方法 : 激光全息光柵尺

測(cè)量速度 : 0.02 - 0.2mm/s （表面粗糙度）0.02 - 2mm/s （形狀/輪廓）

測(cè)量方向 : 向前／向后

直線度 : （0.1+0.0015L）µm 使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針（0.2+0.0015L）µm使用二倍長型測(cè)針

直線度 : （0.05+0.0003L）µm 使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針（0.1+0.0015L）µm使用二倍長型測(cè)針（CS-H5000CNC）

指示精度 （20oC）: ±（0.3+0.002L）µm

指示精度 （20oC）: ±（0.16+0.001L）µm

L 為驅(qū)動(dòng)長度 （mm）

日本三豐525系列CNC超級(jí)表面粗糙度測(cè)量?jī)xZ1 軸

測(cè)量范圍 : 12mm （使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針）

24mm （使用二倍長型測(cè)針）

分辨率 : 0.004µm （使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針）

0.008µm （使用二倍長型測(cè)針）

0.001µm （使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針）（CS-H500CNC）

0.002µm （使用二倍長型測(cè)針）（CS-H500CNC）

測(cè)針上／下運(yùn)作 : 弧形運(yùn)動(dòng)

檢測(cè)方法 : 激光全息光柵尺

指示精度 （20oC）: ±（0.3+I0.02HI）µm

指示精度 （20oC）: ±（0.07+I0.02HI）µm

H 為測(cè)量高度 （mm）

測(cè)力 : 4mN （使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針）

0.75mN （使用二倍長型測(cè)針）

跟蹤角度 : 向上 60o, 向下 60o

（取決于表面粗糙度）

測(cè)針針尖 : 參見 L-22 頁

測(cè)針方向 : 向下

Z2 軸 （立柱）

測(cè)量范圍 : 300mm 或 500mm

*CS-H5000CNC : 僅 300mm

分辨率 : 0.05µm

檢測(cè)方法 : 反射型線性編碼器

0 - 50mm/s （操縱桿控制模式）

基座尺寸 （W x D）: 750 x 600mm

基座材料 : 花崗巖

超級(jí)輪廓測(cè)量裝置Y 軸 *

測(cè)量范圍 : 200mm

分辨率 : 0.05µm

0~50mm/s （操縱桿控制模式）

直線度 : 0.5µm/200mm

指示精度 （20oC）: ±（2+2L/200）µm

L 任意兩點(diǎn)間的長度 （mm）

尺寸 （W x D x H）: 800 x 620 x 1000mm

（800 x 620 x 1200mm: 高立柱型）

重量 : 240kg （250kg: 高立柱型）